1、PG15-J型激光平面干涉儀工作基于雙光束等厚干涉原理。2、根據(jù)近代光學(xué)的研究結(jié)果,光兼有波動(dòng)與微粒兩重特性。光的干涉現(xiàn)象是光的波動(dòng)性的特性。
一、激光平面干涉儀 PG15-J參數(shù)
第一標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),不鍍膜。 工作直徑 |
D1=Φ146mm,不平度小于0.02μm(λ/30) |
第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),不鍍膜。 工作直徑 |
D2=Φ140mm,不平度小于0.03μm(λ/20) |
準(zhǔn)直系統(tǒng) |
D1=Φ146mm |
工作直徑 |
f=400mm |
測微目鏡 |
焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場角2w=40o,成像物鏡:I、D=4.5;П、D=7;Ш、D=10,f=16,f=23,f=37 |
干涉室尺寸 |
深260*寬300*190mm |
光源規(guī)格 |
激光ZN18(He-Ne) |
外形尺寸 |
長*寬*高 350*400*720mm |
重量 |
100公斤 |